|
敏感元件(jian)是能夠靈(ling)敏地感受(shòu)被測變量(liàng)并作出響(xiang)🔅應的元💚件(jiàn)。如:彈性膜(mó)盒能感受(shòu)壓力的高(gāo)低而引起(qi)形變,形變(biàn)的程度就(jiù)😘是對壓力(li)高低的響(xiǎng)應,因此,彈(dan)性膜盒是(shì)一種壓力(lì)敏🈚感元件(jiàn)。
傳感器不(bú)但應該對(duì)被測量敏(mǐn)感,而且具(jù)有把它對(duì)被測量的(de)響應傳送(sòng)出去的功(gōng)能。也就是(shì)說,傳感器(qi)不隻是一(yi)般的敏感(gan)元件,它的(de)輸出響應(ying)還必須是(shì)易于傳送(song)的物理量(liàng)。例如:上訴(su)🔅的彈性膜(mo)盒的輸出(chu)響應是形(xíng)變,是微小(xiǎo)的幾何量(liang)✨,不便于向(xiàng)遠方傳送(sòng)。如果把膜(mó)盒😄中心的(de)位移㊙️轉變(biàn)爲電容♉極(ji)闆的間隙(xì)變化,就成(cheng)爲❄️輸出響(xiang)應是電容(rong)❄️量的
壓力(li)傳感器。
由(yóu)于電信号(hào)便于傳送(song),所以絕大(da)多數傳感(gan)器的輸✍️出(chu)是☂️電量的(de)形式,如電(dian)壓、電流、電(diàn)阻、電感、電(diàn)容、頻率等(deng)。
變送器是(shì)從傳感器(qì)發展而來(lai)的,凡能輸(shu)出标準信(xìn)号的傳㊙️感(gan)🈲器🐕就稱爲(wèi)變送器。(标(biāo)準信号是(shi)物理量的(de)🈲形式和數(shù)值範😍圍都(dōu)符合标準(zhǔn)的信号。例(li)如直流4~20mA)有(you)了統一的(de)信号形式(shi)和數值範(fan)🧑🏾🤝🧑🏼圍,就便于(yú)把各種變(bian)送器和其(qí)他儀表組(zǔ)成檢測系(xi)統或調節(jiē)系統。
輸出(chu)爲非标準(zhun)信号的傳(chuán)感器,必須(xu)和儀表或(huò)裝置配套(tao),才能實現(xian)檢測或調(diào)節功能。爲(wei)了通用性(xing)和靈活性(xìng)💚,某些傳感(gǎn)器的輸出(chū)可以靠轉(zhuǎn)換器把非(fēi)标準信号(hao)轉換成标(biao)準信号,使(shǐ)之與帶有(yǒu)标準信号(hao)的輸入電(diàn)路或接口(kǒu)的儀表配(pèi)套。不同的(de)标準信号(hào)也可👨❤️👨借助(zhu)于轉換器(qì)互相轉換(huàn)。例如利用(yòng)氣/電轉換(huan)器,能✌️把20~100 kPa的(de)空氣壓力(lì)轉換成0~10mA的(de)直流電流(liu)。
位式作用(yòng)和連續作(zuò)用:
位式作(zuo)用,也稱爲(wèi)開關作用(yòng),即傳感器(qi)在輸入變(biàn)量整個變(biàn)化💋範圍内(nèi)其輸出相(xiàng)應隻有兩(liǎng)種狀态,例(li)如空氣狀(zhuàng)态的“高♉”和(hé)“低”。
位式作(zuò)用的傳感(gǎn)器多用于(yu)被測變量(liàng)的超限報(bào)警、連鎖保(bǎo)‼️護、順序控(kòng)制。例如我(wǒ)們的壓力(li)開關。
需要(yao)連續檢測(cè)或調節某(mou)些變量時(shi),就必須用(yong)連續作用(yòng)🏃♀️的傳感器(qì)或變送器(qì)。
長野的變(biàn)送器中所(suǒ)使用的傳(chuán)感器SS—蒸發(fa)型半導體(tǐ)應變片的(de)特☀️點:
(1)相對(duì)于粘貼式(shì)和擴散式(shi)技術。
(2)其可(ke)測壓力範(fàn)圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有耐(nài)用性和穩(wěn)定性。
半導(dao)體應變片(pian)的制作方(fang)法:粘貼方(fāng)式、蒸發方(fang)式、擴💚散方(fang)🥵式。
長野的(de)變送器,如(ru)KM31、KM10 等,其半導(dao)體應變片(pian)部分、感應(ying)元💰件(不鏽(xiù)鋼隔膜)以(yǐ)及壓力接(jiē)口部分通(tong)過焊接連(lian)接成一體(ti),具🌈有很高(gāo)的穩定性(xing)和可靠性(xing),抗震性和(hé)抗❓沖擊性(xing)良好。
蒸發(fa)式半導體(tǐ)應變片的(de)具體制作(zuò)方式如下(xia):
(1)在不鏽鋼(gang)隔膜上使(shi)用CVD等離子(zǐ)沉澱一層(céng)SiO2絕緣膜
(2)在(zài)SiO2絕緣膜上(shang)再沉澱一(yī)層多晶矽(xi)。
(3)在多晶矽(xi)上使用激(jī)光蝕刻,應(yīng)變片成型(xíng) 。
(4)用電子束(shu)照射蒸鍍(du),配上金制(zhi)電極。
(5)再使(shi)用CVD等離子(zǐ)沉澱一層(ceng)SiNx保護膜。
根(gēn)據傳感器(qi)或變送器(qi)的安裝場(chang)所有無易(yì)燃易爆氣(qì)體及危險(xiǎn)程度,選擇(zé)隔爆型及(jí)本安型。
(1)隔(gé)爆型在内(nèi)部電路和(he)周圍易燃(rán)氣體之間(jian)采取了隔(ge)離措施,允(yǔn)許使用在(zài)有一定危(wēi)險性的環(huan)境裏 。
(2)本安(an)型即本質(zhì)安全型的(de)簡稱,依靠(kào)設計的電(diàn)路保證在(zai)正常📐工作(zuò)及故障(意(yì)外短路或(huo)斷路)狀态(tài)下都不會(hui)💃🏻引起燃爆(bao)事故,可用(yòng)在十分易(yì)燃易爆的(de)場所㊙️。
|