摘要(yao):讨論了(le)金屬管(guǎn)浮子流(liú)量計 加(jia)裝阻尼(ni)器在多(duō)晶矽生(sheng)産中的(de)應用方(fāng)案,并對(dui)流✌️量計(jì)使用📱阻(zu)🚶‍♀️尼器前(qian)後的效(xiao)果作了(le)對比。
1金(jin)屬管浮(fu)子流量(liàng)計的工(gong)作原理(lǐ)及一般(ban)應用
　　轉(zhuan)子流量(liang)計 ,又稱(chēng)浮子流(liú)量計,金(jīn)屬浮子(zǐ)流量計(jì)由于其(qi)結構簡(jiǎn)單，可靠(kao)性✔️強,可(ke)輸出标(biāo)準信号(hao),并能實(shi)現流量(liàng)的指示(shì)、積算、記(ji)錄.控制(zhi)和報警(jing)等多種(zhǒng)功能,所(suo)以在工(gong)，業生産(chǎn)中被廣(guǎng)泛應用(yong)。
1.1金屬管(guǎn)浮子流(liú)量計的(de)工作原(yuan)理
　　金屬(shǔ)管浮子(zi)流量計(ji)采用可(ke)變面積(ji)式測量(liàng)原理。llj 主(zhǔ)要💜由三(sān)部分組(zǔ)成:測量(liàng)管、浮子(zǐ).耦合指(zhǐ)示系統(tong)。如原理(li)圖所示(shi),相對應(yīng)測量介(jie)質的某(mǒu)--流量。磁(cí)性浮子(zi)在測量(liang)管中對(dui)應一個(ge)浮子位(wei)置.這個(gè)浮子位(wèi)置通過(guo)指示器(qì)中的經(jīng)過充磁(ci)的磁耦(ou)💋合指示(shì)系🏃🏻‍♂️統帶(dai)動指🌈針(zhēn),由刻度(dù)盤和指(zhi)針讀出(chū)相應的(de)流量計(ji)。也可配(pei)裝不同(tong)的轉換(huan)器🆚.将流(liú)量值轉(zhuǎn)換成标(biāo)準的電(diàn)遠傳信(xìn)号,從而(er)實現遠(yuan)距離顯(xiǎn)示、記錄(lù)、積算和(he)控制功(gong)能。金屬(shǔ)管轉子(zi)流量計(ji)在🏃‍♀️耦合(he)指示系(xì)統的設(she)✨計上可(ke)以🐉爲各(gè)種應用(yong)場合提(ti)供可靠(kao)适用的(de)功能組(zǔ)合🧡,如現(xian)場指針(zhēn)顯示、LCD顯(xiǎn)示瞬時(shí)和累計(ji)流量等(deng)。在指示(shì)器供電(dian)選擇方(fang)面有電(dian)池供電(dian)、24VDC供電、220VAC供(gòng)電,方式(shi)根據現(xiàn)場🐅情況(kuang)💁選擇。
 
1.2金(jīn)屬管浮(fu)子流量(liang)計的一(yi)般應用(yòng)
　　工業上(shàng)常用的(de)流量計(ji)除了金(jin)屬轉了(le)流量計(jì)外，還有(yǒu) 差壓流(liú)量計 、 渦(wō)街流量(liang)計 、 電磁(cí)流量計(ji) 、 超聲波(bo)流量計(jì) 、 渦輪流(liú)量計 、 橢(tuo)圓齒輪(lún)流量計(jì) 等。每種(zhong)流量計(jì)在針對(duì)不同的(de)被測流(liu)體、不同(tóng)的流動(dòng)狀态🏃‍♂️、不(bú)💛同的測(cè)量場所(suo),各有其(qí)優勢和(hé)劣勢.比(bi)如在流(liu)速不同(tóng)的場合(hé)中,中高(gao)流速下(xià)的流量(liàng)測量已(yǐ)有孔闆(pǎn).渦街等(děng)多種流(liu)量計能(neng)夠實現(xian)🚶‍♀️正确測(ce)量,而在(zai)較低流(liú)🎯速、較高(gao)壓力的(de)流量測(cè)量中,尤(yóu)⭕其低雷(léi)諾系數(shù)的情況(kuang)下.金屬(shu)管浮子(zi)流盤計(jì)就起到(dào)非常重(zhong)💋要的作(zuò)用。
 
2金屬(shu)管浮子(zǐ)流量計(ji)加裝阻(zǔ)尼器在(zai)多晶矽(xi)生産中(zhong)的應用(yòng)✉️
2.1阻尼器(qì)的工作(zuo)原理
　　使(shi)自由振(zhen)動衰減(jiǎn)的各種(zhǒng)摩擦和(he)其他阻(zu)礙作用(yòng)，我們‼️稱(cheng)之爲阻(zu)尼。而可(kě)以提供(gòng)運動的(de)阻力,耗(hao)碰運動(dong)能量♉的(de)裝置,我(wǒ)們稱爲(wèi)阻尼器(qì)。目前各(ge)種應用(yong)中有:彈(dàn)貧阻尼(ní)器、液壓(ya)阻尼器(qi)、粘滞阻(zǔ)尼器⭐.氣(qì)阻尼器(qi)、電磁阻(zǔ)尼器等(děng)。
2.2金屬管(guan)浮子流(liú)量計在(zài)使用中(zhōng)出現的(de)問題
　　轉(zhuǎn)子流量(liang)計在多(duō)晶矽生(sheng)産現場(chǎng)使用過(guò)程中,由(yóu)于測量(liàng)介質瞬(shun)🔞間流量(liàng)過小或(huo)不穩定(dìng)、操作壓(ya)力低或(huò)不穩定(ding),儀表前(qian)後測⛱️量(liang)管道内(nèi)徑變化(hua)過大，前(qián)後直管(guan)段嚴重(zhong)不符合(hé)使用規(gui)定要求(qiú)，尤其是(shi)測量介(jiè)質爲氣(qi)體等情(qíng)況下會(huì)🌈造成流(liu)量計測(ce)量管内(nei)介質流(liú)動極不(bu)穩定,引(yin)起浮子(zǐ)發生跳(tiao)動的現(xiàn)象。浮子(zi)的垂㊙️直(zhi)上下直(zhi)線💛運動(dong)通過磁(cí)耦合系(xi)統傳遞(dì)、傳化爲(wei)指針軸(zhou)的轉動(dòng)運行✔️,與(yǔ)指針軸(zhou)組合成(chéng)一-體的(de)指針轉(zhuǎn)🔴動從而(er)擡示介(jie)質的瞬(shun)時流量(liang)。流量計(ji)測量管(guǎn)中浮❄️子(zǐ)發生的(de)跳動現(xiàn)象傳遞(di)給指針(zhen),就變成(cheng)爲指針(zhen)連💋續不(bú)停頓的(de)擺動現(xian)象，造成(chéng)流量指(zhi)示不🈚穩(wen)定,甚至(zhi)根本不(bu)能讀取(qǔ)刻度值(zhi),确定瞬(shùn)時流量(liang)數值。如(rú)果現場(chǎng)出現這(zhe)種現象(xiàng),通常的(de)處理方(fang)法是分(fèn)析造成(cheng)指針擺(bai)動的主(zhǔ)要原因(yīn),多數情(qing)況下從(cóng)多晶♊矽(xī)生産工(gōng)㊙️藝上采(cai)取措施(shī)🈲,改善介(jiè)質流動(dòng)狀況,從(cóng)而減少(shao)、避免指(zhi)針的擺(bai)動。但是(shi)很❤️多時(shi)候指針(zhen)擺動的(de)頻率、幅(fú)度很難(nan)從根本(ben).上避免(miǎn)、降低🐉。
2.3氣(qì)阻尼器(qì)在金屬(shu)管浮子(zǐ)流量計(jì)中的應(yīng)用
　　在儀(yí)表測量(liàng)管中加(jiā)裝氣阻(zu)尼器成(cheng)爲解決(jue)浮子跳(tiao)動,指🥰針(zhen)擺動的(de)有效方(fang)法之一(yī)。該裝置(zhi)包括氣(qi)阻尼頭(tou)與氣阻(zǔ)尼套,二(èr)者爲間(jiān)隙配合(hé),二者間(jian)形成的(de)腔🧑🏾‍🤝‍🧑🏼體中(zhōng)充滿測(ce)量介質(zhì),當浮子(zi)向上或(huo)向下運(yun)動時,測(ce)🐅量介質(zhì)必須排(pai)出或進(jin)人腔體(tǐ),由于阻(zǔ)尼頭與(yǔ)阻尼套(tào)之間間(jian)隙很小(xiao)，測量介(jie)質排出(chu)或進人(ren)腔體的(de)速度滞(zhì)後于浮(fú)子向.上(shang)或向下(xia)運動的(de)速度.從(cóng)而👈起到(dào)🏃阻尼效(xiao)果,降低(di).浮子向(xiang).上或向(xiàng)下運🐪動(dòng)的速度(du),過低指(zhǐ)針擺動(dòng)的頻率(lü)、幅度。
2.3.1氣(qì)阻尼器(qì)使用中(zhong)需要注(zhù)意的問(wèn)題。
　　現有(you)阻尼裝(zhuāng)置中的(de)氣阻尼(ni)頭與阻(zu)尼套之(zhī)間的配(pèi)合爲面(mian)接觸🌈.與(yu)流量計(jì)測量管(guǎn)與介質(zhi)流動極(ji)不穩定(ding),引起浮(fú)子發生(shēng)跳動,加(jia)之加工(gōng)誤差,常(cháng)會使氣(qi)阻尼頭(tou)随浮子(zǐ)導🎯向.杆(gǎn)産生偏(pian)移.導緻(zhì)氣阻尼(ni)頭過快(kuai)的磨損(sǔn)，嚴重時(shí)使氣阻(zu)尼套卡(kǎ)👨‍❤️‍👨住,影響(xiǎng)阻尼效(xiào)果,縮短(duǎn)氣阻尼(ní)裝置的(de)使用壽(shòu)📐命。
2.3.2解決(jué)方案。
　　爲(wei)了解決(jue)可能存(cún)在的不(bú)足,可采(cai)用了以(yǐ)下新技(ji)術。改變(bian)氣阻尼(ni)頭與氣(qì)阻尼套(tao)之間的(de)配合方(fang)式,使之(zhī)配合的(de)表面形(xíng)狀爲球(qiú)面,球面(mian)的圓心(xīn)在氣阻(zǔ)尼頭與(yǔ)氣阻尼(ní)套配合(hé)的中軸(zhou)線上♊,使(shi)氣阻尼(ní)頭與氣(qì)阻尼套(tao)之間的(de)配合爲(wèi)線性接(jiē)觸。當氣(qi)阻尼頭(tou)随浮子(zi)導向杆(gan)産生偏(pian)移時,氣(qì)阻尼頭(tou)與氣阻(zu)尼套之(zhī)間的配(pèi)合始終(zhong)是線接(jie)觸，既可(kě)防止氣(qi)阻尼頭(tóu)與氣阻(zu)尼套卡(ka)住.義❤️使(shǐ)氣阻尼(ní)頭磨損(sǔn)平均,延(yan)長了氣(qì)阻尼裝(zhuāng)置使用(yong)壽命。
 
2.4電(diàn)磁阻尼(ni)器在金(jin)屬管浮(fú)子流量(liang)計中的(de)應用
　　由(you)于轉子(zi)流量計(ji)的測量(liàng)管爲機(ji)械結構(gou).測量時(shi)對📱波動(dong)很敏感(gǎn),經常會(huì)出現指(zhǐ)針波動(dong)嚴重,甚(shen)至影響(xiǎng)讀數的(de)情況。除(chu)了在測(cè)量管中(zhong)加裝氣(qì)阻尼器(qì)之外❌,還(hai)可以在(zài)指針組(zǔ)件中增(zeng)加電🐕磁(cí)阻尼器(qi),使指針(zhen)擺動的(de)頻率、幅(fú)度大幅(fú)度降低(dī)，使指針(zhēn)指示穩(wěn)定，刻度(du)🥵值讀取(qu)變得容(róng)易，讀取(qu)精🎯度更(geng)高。
　　電磁(ci)阻尼器(qì)的工作(zuò)原理。電(dian)磁阻尼(ní)器由磁(cí)鋼、連接(jiē)件、金🈲屬(shǔ)闆等組(zǔ)裝後爲(wei)一體。指(zhi)針的配(pei)重爲導(dao)電金屬(shu)鋁合金(jin),根據電(dian)磁感應(ying)定律,配(pei)重在磁(cí)場中運(yùn)動，切割(ge)磁力線(xian).必然産(chan)生感應(ying)電🧑🏾‍🤝‍🧑🏼動勢(shi),從而在(zài)配重中(zhong)🍓産生渦(wō)電流;磁(ci)場對📐帶(dai)電導體(tǐ)必然産(chǎn)生作用(yòng)力,而此(ci)作用力(li)恰好起(qi)到阻礙(ài)配重在(zai)磁場中(zhōng)運動的(de)作用,配(pèi)重運動(dòng)的速度(du)越大,産(chǎn)生的反(fan)作用也(ye)越⭐大,其(qí)效果類(lèi)似于阻(zu)尼器,從(cóng)而使電(diàn)磁阻尼(ni)器起到(dào)降低指(zhi)針擺動(dòng)頻率、幅(fu)度🛀的作(zuò)用.達到(dào)穩定的(de)效果。
 
　　與(yǔ)現有技(ji)術相比(bǐ)，通過增(zeng)加電磁(ci)阻尼器(qi)裝置,可(ke)有效改(gai)善💜流量(liàng)計的使(shǐ)用效果(guo)，使指針(zhēn)的擺動(dong)頻率和(hé)幅度大(dà)幅度降(jiàng)低，指針(zhen)穩定指(zhi)示,刻度(dù)值的讀(dú)取變得(de)容易，讀(du)取精度(du)提高,既(jì)提高了(le)效率也(ye)保證了(le)精度。

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