摘要：金(jin)屬轉子(zi)流量計(ji) 作爲面(mian)積式流(liu)量計的(de)一種，具(ju)有簡單(dan)、直觀、對(dui)介質條(tiao)🙇🏻件要🏃‍♀️求(qiu)低等特(te)點，使其(qi)在高溫(wen)高壓、強(qiang)腐蝕介(jie)質🐪等惡(e)劣流量(liang)測量環(huan)境下被(bei)廣泛使(shi)用，因此(ci)對流量(liang)計的維(wei)護保養(yang)成爲保(bao)證測量(liang)數據客(ke)🔞觀準确(que)的重要(yao)手段。尤(you)其是金(jin)屬轉子(zi)表面附(fu)着物直(zhi)接影響(xiang)了測量(liang)精度，對(dui)金屬轉(zhuan)子的清(qing)洗成爲(wei)流量計(ji)維護保(bao)養的重(zhong)要環📱節(jie)。本文着(zhe)重讨論(lun)等金屬(shu)流量計(ji)葉片清(qing)洗方法(fa)及等離(li)子清洗(xi)技術清(qing)洗🥰轉子(zi)葉片的(de)可操作(zuo)性。
　　金屬(shu)轉子流(liu)量計的(de)使用較(jiao)爲廣泛(fan)，在易燃(ran)、易爆、高(gao)溫、高壓(ya)📐和強腐(fu)蝕介質(zhi)環境中(zhong)都可使(shi)用。由于(yu)測量檢(jian)測環境(jing)惡劣🤞，爲(wei)保證測(ce)量精度(du)，流量計(ji)在投用(yong)前🐆準備(bei)、使用中(zhong)的⭐維護(hu)和停用(yong)後😘需進(jin)行清洗(xi)保養。對(dui)🙇🏻轉子這(zhe)種微小(xiao)精密部(bu)件的清(qing)洗通常(chang)使🌐用化(hua)學試劑(ji)清洗法(fa)及🌈電磁(ci)感應法(fa)。試劑清(qing)洗易産(chan)生化學(xue)反📞應效(xiao)應，電磁(ci)感應法(fa)則産生(sheng)電☁️化學(xue)現象、極(ji)化電勢(shi)和觸媒(mei)作🐪用，都(dou)會影響(xiang)流量計(ji)的測量(liang)精度甚(shen)至産生(sheng)二次污(wu)染破壞(huai)流量計(ji)[1]。
　　等離子(zi)清洗是(shi)一種全(quan)新的高(gao)科技技(ji)術，利用(yong)等離🙇🏻子(zi)✉️體轟擊(ji)🥰被清洗(xi)物表面(mian)來達到(dao)常規清(qing)洗方法(fa)無法達(da)到的效(xiao)果。等離(li)子清洗(xi)在橡膠(jiao)塑料、汽(qi)車、電子(zi)、醫療、紡(fang)織纖維(wei)乃至航(hang)空航天(tian)領域已(yi)得到廣(guang)泛使用(yong)。本文将(jiang)結合等(deng)離子清(qing)洗的優(you)勢特點(dian)，讨論等(deng)離子清(qing)洗轉子(zi)葉片的(de)可行性(xing)及技術(shu)優勢，爲(wei)維護金(jin)屬轉子(zi)流量計(ji)✊提供安(an)全實用(yong)的方式(shi)方法[2]。
1流(liu)量計量(liang)技術及(ji)流量計(ji)
　　能量轉(zhuan)換是一(yi)切生産(chan)過程和(he)科學實(shi)驗的基(ji)礎，流量(liang)和壓力(li)、溫度并(bing)列稱爲(wei)三大檢(jian)測參數(shu)。對于已(yi)知流體(ti)，隻要掌(zhang)握🚶‍♀️這三(san)個參數(shu)就可通(tong)過計算(suan)得出其(qi)具有的(de)🔅能量，所(suo)以在能(neng)量轉換(huan)的測量(liang)中必須(xu)準确測(ce)量這三(san)個參數(shu)。因此流(liu)量計和(he)壓力、溫(wen)度儀表(biao)一樣成(cheng)爲非常(chang)重要的(de)應用。
1.1流(liu)量計現(xian)狀、分類(lei)與常用(yong)術語
　　測(ce)量流體(ti)流量的(de)儀器爲(wei)流量計(ji)，可測量(liang)流量的(de)體🌐積和(he)質量。進(jin)⛹🏻‍♀️入新世(shi)紀，由于(yu)工業發(fa)展對能(neng)量計算(suan)的需求(qiu)急劇增(zeng)長，促使(shi)流量儀(yi)表在測(ce)量原理(li)逐漸成(cheng)熟背景(jing)下發展(zhan)出多種(zhong)類型🧡穩(wen)定可靠(kao)的産品(pin)。
　　傳統流(liu)量計有(you) 差壓式(shi)流量計(ji) 、容積式(shi)流量計(ji)、 浮子流(liu)量計 、葉(ye)輪式流(liu)量計以(yi)及插入(ru)式流量(liang)計。新型(xing)流量計(ji)有 超聲(sheng)波流量(liang)計 、流體(ti)振動流(liu)量計、科(ke)裏奧利(li)質量流(liu)量計、熱(re)式流量(liang)計、電磁(ci)流⁉️量計(ji)等。雖然(ran)現有流(liu)量計種(zhong)類衆多(duo)并各具(ju)特點，但(dan)是研🌈發(fa)一種适(shi)應所有(you)測量需(xu)求的流(liu)量計依(yi)然是業(ye)界追求(qiu)的🚩目标(biao)[3]。
　　流量計(ji)常用術(shu)語有流(liu)量範圍(wei)、儀表系(xi)數、流量(liang)系數、壓(ya)力損失(shi)、線📐性度(du)、誤差與(yu)精度、重(zhong)複精度(du)。
1.2轉子流(liu)量計結(jie)構
　　轉子(zi)流量計(ji)主要由(you)表頭與(yu)主體兩(liang)部分組(zu)成，主體(ti)結構如(ru)圖1所☂️示(shi)。

1.3轉子(zi)流量計(ji)工作原(yuan)理及誤(wu)差特性(xing)
　　轉子流(liu)量計一(yi)部分是(shi)由下至(zhi)上逐漸(jian)擴大的(de)錐管，另(ling)一部分(fen)是錐管(guan)中可以(yi)上下自(zi)由移動(dong)的轉子(zi)。工作中(zhong)🚶被測流(liu)體經錐(zhui)管下端(duan)流入沖(chong)擊轉子(zi)所産生(sheng)的作用(yong)力将轉(zhuan)子托起(qi)升高。同(tong)時，被測(ce)流體流(liu)經錐形(xing)管壁間(jian)的環形(xing)斷面，從(cong)上端流(liu)出。轉子(zi)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻受力處(chu)于🧑🏾‍🤝‍🧑🏼平衡(heng)狀态停(ting)💜留在某(mou)一高度(du)位置與(yu)所⛷️通過(guo)的流量(liang)🔴有相對(dui)應的關(guan)系。所以(yi)，通過觀(guan)測轉子(zi)在錐形(xing)管中的(de)位置來(lai)求得當(dang)🏒時的流(liu)❓量值。
流(liu)量計基(ji)本誤差(cha)表示爲(wei)：由于實(shi)測時V是(shi)未知的(de)，所以常(chang)用相對(dui)誤差來(lai)表示：

　　V=Nv式(shi)中I流量(liang)計示值(zhi)；V實際通(tong)過流量(liang)計值；N計(ji)量元件(jian)旋✂️轉次(ci)數；v每轉(zhuan)一周排(pai)除流體(ti)體積。
2流(liu)量計維(wei)護
　　流量(liang)計的維(wei)護中對(dui)儀器設(she)備元件(jian)的清洗(xi)是保證(zheng)其正🌈常(chang)🈲工作的(de)重要手(shou)段。安全(quan)的維護(hu)保養工(gong)作可保(bao)證儀器(qi)的測量(liang)精度，延(yan)長使用(yong)壽命，減(jian)少對工(gong)作、自然(ran)環❗境污(wu)染。
2.1等離(li)子清洗(xi)技術
　　等(deng)離子清(qing)洗plasmacleaner也叫(jiao)等離子(zi)表面處(chu)理。等離(li)子體是(shi)物質⚽的(de)💛第四态(tai)，不同于(yu)物質的(de)固液汽(qi)三态，等(deng)離子體(ti)包括🈲離(li)子💞、電子(zi)、原子、活(huo)性基團(tuan)、激發态(tai)的核素(su)(亞穩态(tai))、光子等(deng)。等離子(zi)清洗即(ji)是利用(yong)這些👈活(huo)性組分(fen)來處理(li)清洗🐇物(wu)表面，實(shi)現清潔(jie)、塗覆、改(gai)性、光刻(ke)膠灰化(hua)的目的(de)。其工作(zuo)原理是(shi)在🌈真空(kong)腔室中(zhong)♊，射頻電(dian)源在壓(ya)力下起(qi)輝産生(sheng)無序的(de)高能量(liang)等離子(zi)體轟擊(ji)被清洗(xi)物體表(biao)面。
　　清洗(xi)結構由(you)控制單(dan)元、真空(kong)腔及真(zhen)空泵組(zu)成。其中(zhong)控制電(dian)源頻率(lü)有40KHz、13.56MHz、2.45GHz三種(zhong)，系統控(kong)制有半(ban)自動控(kong)制、電腦(nao)控🔞制、PLC控(kong)制。真空(kong)腔由不(bu)鏽鋼及(ji)石英腔(qiang)兩種材(cai)質，真空(kong)泵也分(fen)幹泵和(he)油泵兩(liang)種。
2.2等離(li)子清洗(xi)技術優(you)勢
⑴經等(deng)離子清(qing)洗後被(bei)清洗物(wu)是幹燥(zao)的，無需(xu)像其它(ta)清洗方(fang)法再進(jin)行幹燥(zao)處理，提(ti)高效率(lü)。⑵使操作(zuo)者遠離(li)有害試(shi)劑的危(wei)害❌，降低(di)對環境(jing)的污染(ran)。⑶避免濕(shi)法清洗(xi)的直接(jie)接觸使(shi)微小精(jing)密部件(jian)破損變(bian)形。⑷等離(li)😘子體的(de)無序性(xing)使它可(ke)以深入(ru)✊清洗微(wei)細孔眼(yan)及凹陷(xian)部位，對(dui)清洗物(wu)形狀沒(mei)有要求(qiu)且清洗(xi)效果優(you)于🈲試劑(ji)清洗。⑸工(gong)藝流程(cheng)短，隻有(you)幾✂️分鍾(zhong)，極大提(ti)高效率(lü)。⑹工作真(zhen)空條件(jian)約👅100Pa，容易(yi)達⭐到要(yao)求，設備(bei)成本低(di)性價比(bi)高于有(you)機溶劑(ji)洗🎯發。⑺适(shi)用材料(liao)廣泛，金(jin)屬、半導(dao)體🐉、氧化(hua)物、聚氯(lü)乙烯、聚(ju)四氟乙(yi)烯、聚酰(xian)亞胺、聚(ju)酯、環氧(yang)🔱樹脂等(deng)高聚物(wu)都🔴可以(yi)适用等(deng)離子體(ti)處理。⑻可(ke)改善📐材(cai)料表面(mian)性能，提(ti)高潤濕(shi)性和膜(mo)粘着力(li)等。
2.3等離(li)子清洗(xi)技術應(ying)用
　　清洗(xi)設備産(chan)生的等(deng)離子體(ti)在真空(kong)環境下(xia)的活性(xing)能量幾(ji)🔴乎破壞(huai)所有的(de)化學鍵(jian)，在所有(you)暴露表(biao)面引起(qi)化學反(fan)應。清洗(xi)過程中(zhong)，無機氣(qi)體被激(ji)發爲等(deng)離子态(tai)，氣相物(wu)質吸附(fu)在固體(ti)表面，被(bei)吸附基(ji)團與固(gu)體表面(mian)分子解(jie)析形成(cheng)氣相，反(fan)應殘餘(yu)物脫離(li)表面。
　　實(shi)驗中，金(jin)屬轉子(zi)葉片上(shang)的水、泥(ni)附着物(wu)徹底得(de)到清除(chu)，去除表(biao)面難揮(hui)發油污(wu)，提高了(le)表面活(huo)性。通過(guo)測量，轉(zhuan)子的重(zhong)量、顯微(wei)形狀、表(biao)面平整(zheng)度都沒(mei)有明顯(xian)變化。使(shi)用效果(guo)全方位(wei)優于試(shi)劑清洗(xi)法。
3結語(yu)
　　等離子(zi)清洗技(ji)術在橡(xiang)膠行業(ye)應用也(ye)非常成(cheng)熟，實📞驗(yan)中借鑒(jian)其它行(hang)業領域(yu)的應用(yong)經驗，解(jie)決了清(qing)洗👣金屬(shu)轉子流(liu)量計體(ti)積小、形(xing)狀特殊(shu)、易腐蝕(shi)變形等(deng)難題。使(shi)清洗轉(zhuan)子葉片(pian)達到高(gao)效、簡單(dan)🔅、安全的(de)目的。使(shi)離子清(qing)洗技術(shu)的應用(yong)更加☔普(pu)及并拓(tuo)寬了範(fan)圍。

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