摘要:讨(tao)論了金屬(shu)管浮子流(liu)量計 加裝(zhuang)阻尼器在(zai)多晶矽生(sheng)産中的應(ying)用方案,并(bing)對流量❌計(ji)☎️使用🌈阻尼(ni)器前後的(de)效果作了(le)對比。
1金屬(shu)管浮子流(liu)量計的工(gong)作原理及(ji)一般應用(yong)
　　轉子流量(liang)計 ,又稱浮(fu)子流量計(ji),金屬浮子(zi)流量計由(you)于其結構(gou)簡單😄，可靠(kao)性強,可輸(shu)出标準信(xin)号,并能實(shi)現流量的(de)指示、積算(suan)、記錄.控制(zhi)和報警等(deng)多種功能(neng),所以在工(gong)，業生産中(zhong)㊙️被廣泛應(ying)用。
1.1金屬管(guan)浮子流量(liang)計的工作(zuo)原理
　　金屬(shu)管浮子流(liu)量計采用(yong)可變面積(ji)式測量原(yuan)理。llj 主要由(you)三部分🔆組(zu)成:測量管(guan)、浮子.耦合(he)指示系統(tong)。如原理圖(tu)所示,相對(dui)🌂應測量介(jie)質的某--流(liu)量。磁性浮(fu)子在🌐測量(liang)管中對應(ying)一個浮子(zi)位置🧡.這個(ge)浮子位置(zhi)通過♋指示(shi)器中📐的經(jing)過充磁的(de)磁耦合指(zhi)示系統帶(dai)動指針,由(you)刻度盤和(he)指針讀出(chu)♊相應的流(liu)量計。也可(ke)配裝💰不同(tong)的轉換器(qi).将流量值(zhi)轉換🙇‍♀️成标(biao)準的電遠(yuan)傳信🈚号,從(cong)而實現遠(yuan)距離顯示(shi)💜、記錄、積算(suan)和控制功(gong)能。金屬管(guan)轉子流量(liang)計在🤩耦合(he)指示系統(tong)的設計上(shang)可以爲各(ge)種應用場(chang)合提供可(ke)靠适🧑🏾‍🤝‍🧑🏼用的(de)功能組合(he)✔️,如現☁️場指(zhi)針顯示、LCD顯(xian)示😍瞬時和(he)累計流量(liang)等。在指示(shi)器供💚電選(xuan)擇方面有(you)電池供電(dian)、24VDC供電、220VAC供電(dian),方式根據(ju)現場✏️情況(kuang)選擇。
 
1.2金屬(shu)管浮子流(liu)量計的一(yi)般應用
　　工(gong)業上常用(yong)的流量計(ji)除了金屬(shu)轉了流量(liang)計外，還有(you) 差壓流量(liang)計 、 渦街流(liu)量計 、 電磁(ci)流量計 、 超(chao)聲波流量(liang)計 、 渦輪流(liu)量計 、 橢圓(yuan)齒輪流量(liang)計 等。每種(zhong)流量計在(zai)針對不同(tong)的被測流(liu)體、不同的(de)流🍉動💜狀态(tai)、不同的測(ce)量場所,各(ge)有其優勢(shi)和劣勢.比(bi)如📧在流✊速(su)不🌈同的場(chang)合中,中高(gao)流速下的(de)流量測量(liang)已有孔闆(pan)🌐.渦街等多(duo)種流❌量計(ji)能📱夠實現(xian)正确測量(liang),而💯在較低(di)流速、較高(gao)壓力的流(liu)量測量中(zhong),尤其低雷(lei)諾🏃‍♂️系數的(de)情況下.金(jin)屬管浮子(zi)流盤計就(jiu)起到非常(chang)重要的作(zuo)用。
 
2金屬管(guan)浮子流量(liang)計加裝阻(zu)尼器在多(duo)晶矽生産(chan)中的應用(yong)㊙️
2.1阻尼器的(de)工作原理(li)
　　使自由振(zhen)動衰減的(de)各種摩擦(ca)和其他阻(zu)礙作用，我(wo)們🌈稱之爲(wei)阻尼。而可(ke)以提供運(yun)動的阻力(li),耗碰運動(dong)能量的裝(zhuang)置,我們稱(cheng)爲阻尼器(qi)。目前各種(zhong)應用中有(you)🌈:彈貧阻尼(ni)器、液壓阻(zu)尼器、粘滞(zhi)阻尼器.氣(qi)阻尼器、電(dian)磁阻尼器(qi)等。
2.2金屬管(guan)浮子流量(liang)計在使用(yong)中出現的(de)問題
　　轉子(zi)流量計在(zai)多晶矽生(sheng)産現場使(shi)用過程中(zhong),由于❓測量(liang)介質瞬🔴間(jian)流量過小(xiao)或不穩定(ding)、操作壓力(li)低或不穩(wen)定,儀表前(qian)後測量管(guan)道内徑變(bian)化過大，前(qian)後直管段(duan)嚴重不符(fu)合使用🌈規(gui)定要求，尤(you)其❓是測量(liang)介質爲氣(qi)體等情況(kuang)下會造成(cheng)流量計測(ce)量管内介(jie)質流動極(ji)不穩定,引(yin)起浮子發(fa)生跳動的(de)現象。浮子(zi)的垂直上(shang)下直線運(yun)動通過磁(ci)耦合系統(tong)傳遞、傳化(hua)爲指針軸(zhou)的轉動運(yun)行,與指針(zhen)軸組合成(cheng)一-體的指(zhi)針轉動從(cong)而擡示介(jie)質的🔴瞬時(shi)流量。流量(liang)計測量管(guan)中浮子發(fa)生的跳動(dong)現象傳🐕遞(di)給指針,就(jiu)變成爲指(zhi)針連續不(bu)停頓的擺(bai)動現象，造(zao)成流量指(zhi)示不穩定(ding),甚至根本(ben)不能讀取(qu)刻度值,确(que)定🏃‍♀️瞬時流(liu)量數值。如(ru)果現場出(chu)現這種現(xian)象,通常的(de)👣處理方法(fa)是分析造(zao)成指⭐針擺(bai)動的主要(yao)原因,多數(shu)情況下從(cong)多晶🚶‍♀️矽生(sheng)産工藝上(shang)采取措施(shi),改善介質(zhi)流動狀況(kuang)👨‍❤️‍👨,從而減少(shao)、避免指針(zhen)的擺動。但(dan)是很多時(shi)候指👣針擺(bai)動的頻率(lü)、幅度很難(nan)從根本.上(shang)避免、降低(di)。
2.3氣阻尼器(qi)在金屬管(guan)浮子流量(liang)計中的應(ying)用
　　在儀表(biao)測量管中(zhong)加裝氣阻(zu)尼器成爲(wei)解決浮子(zi)跳動,指針(zhen)擺動的有(you)效方法之(zhi)一。該裝置(zhi)包括氣阻(zu)尼頭與🏒氣(qi)阻尼套,二(er)者爲間隙(xi)配合,二者(zhe)間形成的(de)腔體中充(chong)滿測量介(jie)質,當🈲浮子(zi)向上或向(xiang)🤞下運動時(shi),測量介質(zhi)必須排出(chu)或進人腔(qiang)體,由于阻(zu)尼頭與阻(zu)尼套之間(jian)間隙很小(xiao)，測量介質(zhi)排出或進(jin)📧人腔體的(de)速度滞後(hou)于浮⁉️子向(xiang).上或向下(xia)運動的速(su)度.從而起(qi)到阻尼效(xiao)果,降低.浮(fu)子向.上或(huo)向下運動(dong)的速度,過(guo)低🏃‍♀️指針擺(bai)動的頻率(lü)、幅度。
2.3.1氣阻(zu)尼器使用(yong)中需要注(zhu)意的問題(ti)。
　　現有阻尼(ni)裝置中的(de)氣阻尼頭(tou)與阻尼套(tao)之間的配(pei)合爲面接(jie)🐪觸.與流量(liang)計測量管(guan)與介質流(liu)動極不穩(wen)定,引起浮(fu)子發🧑🏾‍🤝‍🧑🏼生跳(tiao)動,加之加(jia)工誤差,常(chang)會使氣阻(zu)👨‍❤️‍👨尼頭随浮(fu)子導向.杆(gan)産生偏移(yi).導緻氣阻(zu)尼頭過快(kuai)的磨損，嚴(yan)📞重時使氣(qi)阻尼套卡(ka)👣住,影響阻(zu)尼效果,縮(suo)短氣阻尼(ni)裝🤞置的使(shi)用壽命。
2.3.2解(jie)決方案。
　　爲(wei)了解決可(ke)能存在的(de)不足,可采(cai)用了以下(xia)新技術。改(gai)⭕變氣阻尼(ni)頭與氣阻(zu)尼套之間(jian)的配合方(fang)式,使之配(pei)合的表面(mian)形狀爲球(qiu)面,球面的(de)圓心在氣(qi)阻尼頭與(yu)氣阻⭐尼套(tao)配合的中(zhong)軸線上,使(shi)氣阻尼頭(tou)與氣阻🔴尼(ni)套之間的(de)配合爲線(xian)性接觸。當(dang)氣阻尼🏃🏻頭(tou)随浮子導(dao)向杆産生(sheng)🔅偏移時,氣(qi)阻尼頭與(yu)氣阻尼套(tao)之間的🎯配(pei)合始終是(shi)線接觸，既(ji)可防止🤞氣(qi)阻尼頭與(yu)氣阻尼♉套(tao)卡住.義📞使(shi)氣阻尼頭(tou)磨損平均(jun),延長了氣(qi)阻尼裝置(zhi)使用壽命(ming)。
 
2.4電磁阻尼(ni)器在金屬(shu)管浮子流(liu)量計中的(de)應用
　　由于(yu)轉子流量(liang)計的測量(liang)管爲機械(xie)結構.測量(liang)時對波🐪動(dong)🈚很敏🔞感,經(jing)常會出現(xian)指針波動(dong)嚴重,甚至(zhi)影響讀數(shu)的情況。除(chu)💞了在測量(liang)管中加裝(zhuang)氣阻尼器(qi)之外,還可(ke)以在指針(zhen)組件中增(zeng)加電㊙️磁阻(zu)尼☎️器,使指(zhi)針擺動的(de)頻率🐪、幅度(du)大幅度降(jiang)低，使指針(zhen)指示穩定(ding)，刻度值讀(du)取變得容(rong)易，讀取精(jing)度更高。
　　電(dian)磁阻尼器(qi)的工作原(yuan)理。電磁阻(zu)尼器由磁(ci)鋼、連接件(jian)、金屬闆等(deng)組裝後爲(wei)一體。指針(zhen)的配重爲(wei)導電金屬(shu)鋁合金,根(gen)據電磁感(gan)應定律,配(pei)重在磁場(chang)中運動，切(qie)割磁力線(xian).必然産生(sheng)感應電💔動(dong)勢,從而在(zai)配重中産(chan)生渦電流(liu);磁場對帶(dai)電導體必(bi)然産生作(zuo)用力,而此(ci)作用力恰(qia)好起到阻(zu)礙配重在(zai)磁場中運(yun)動的作❓用(yong),配重運動(dong)的速度越(yue)大,産生的(de)反作用也(ye)越大,其效(xiao)果類似于(yu)阻尼器,從(cong)而使電磁(ci)阻尼器起(qi)到降低指(zhi)♉針擺動頻(pin)率、幅度的(de)作用.達到(dao)穩定的效(xiao)果。
 
　　與現有(you)技術相比(bi)，通過增加(jia)電磁阻尼(ni)器裝置,可(ke)有效改❤️善(shan)流量🥰計的(de)使用效果(guo)，使指針的(de)擺動頻率(lü)和幅度大(da)幅🏒度降低(di)，指👅針穩定(ding)指示,刻度(du)值的讀取(qu)變🤟得容易(yi)，讀取精度(du)提高,既提(ti)高🔞了效率(lü)也保證了(le)精度。

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