摘要:基(ji)于熱傳(chuan)遞原理(li),設計了(le)一種大(da)量程氣(qi)體流量(liang)傳感器(qi)‼️。 采用FLUENT進(jin)行結構(gou)的仿真(zhen).結合權(quan)重法确(que)定傳感(gan)器的結(jie)構模型(xing)。研究了(le)傳感元(yuan)件的溫(wen)度特性(xing).确定了(le)傳感器(qi)的工作(zuo)狀态。設(she)計了傳(chuan)感電路(lu),對傳感(gan)器進行(hang)了自動(dong)溫度補(bu)償。測量(liang)中采用(yong)兩種不(bu)同♻️的測(ce)量原理(li).使傳感(gan)器能夠(gou)檢測微(wei)小流量(liang)和中、大(da)流量.提(ti)高了傳(chuan)感器的(de)測量範(fan)圍。實驗(yan)結果表(biao)明該傳(chuan)感器測(ce)量流量(liang)量程爲(wei)0.14 m'/h~ 130 m'/h,測量誤(wu)差優于(yu)1.5%。
　　熱式氣(qi)體流量(liang)傳感器(qi)是利用(yong)熱傳遞(di)原理實(shi)現對氣(qi)體質量(liang)流量的(de)直接測(ce)量",其按(an)結構可(ke)分爲熱(re)分布型(xing)和浸人(ren)型。熱分(fen)布式型(xing)🐪氣體流(liu)量傳感(gan)器可測(ce)量低流(liu)速微小(xiao)流量鬥(dou);浸人型(xing)氣體流(liu)量傳感(gan)器主要(yao)應用于(yu)中、大管(guan)徑的較(jiao)高流速(su)測量,而(er)對🚶于低(di)流速氣(qi)體的測(ce)量精度(du)和靈敏(min)度都較(jiao)低。采用(yong)5個熱電(dian)阻PT1000 集成(cheng)于同-基(ji)片的傳(chuan)感元件(jian),通過傳(chuan)感電路(lu)設計,使(shi)得氣體(ti)流量傳(chuan)感器在(zai)小流量(liang)時采用(yong)熱分布(bu)型測量(liang)原理,在(zai)大流量(liang)測量時(shi)采用浸(jin)人式測(ce)量原理(li),從而實(shi)現了流(liu)量👨‍❤️‍👨的大(da)量程測(ce)量。同時(shi),由于該(gai)傳感器(qi)放置在(zai)管道内(nei)部,因此(ci)傳感元(yuan)件周圍(wei)的流場(chang)及流速(su)大小将(jiang)較大影(ying)響流量(liang)測量的(de)性能。因(yin)此，首先(xian)對🌈傳感(gan)器結構(gou)進行仿(pang)真,通過(guo).Solidworks軟💁件設(she)計傳感(gan)器的9種(zhong)結構模(mo)型引,采(cai)用㊙️FLUENT仿真(zhen)技術獲(huo)得不同(tong)傳感器(qi)結構模(mo)型的管(guan)内流場(chang)等🙇🏻速線(xian)水平剖(pou)面圖及(ji)管内傳(chuan)感元件(jian)截面的(de)面平均(jun)速度,并(bing)結合權(quan)重法對(dui)仿真數(shu)據進行(hang)處理,确(que)定傳感(gan)器系統(tong)結構模(mo)型。然後(hou)研究了(le)傳感器(qi)的溫度(du)特性[4],設(she)計了傳(chuan)感測量(liang)電路,實(shi)現對氣(qi)✔️體在大(da)量程範(fan)圍内流(liu)量正🙇🏻确(que)的測量(liang)。
1測量原(yuan)理
　　氣體(ti)流量傳(chuan)感器是(shi)在不同(tong)流量段(duan)分别采(cai)用熱分(fen)布㊙️型和(he)浸人型(xing)的測量(liang)原理。熱(re)式氣體(ti)傳感器(qi)的傳感(gan)元件置(zhi)于管道(dao)中心[5]，傳(chuan)感元件(jian)如圖1所(suo)示。管道(dao)中沒有(you)氣體通(tong)過時,管(guan)道内的(de)溫度場(chang)是對稱(cheng)的。熱電(dian)阻R.、R。、R、R, ,作爲(wei)熱源和(he)溫度傳(chuan)感器,R。用(yong)于氣體(ti)介質溫(wen)度的測(ce)量。當有(you)微小氣(qi)體流過(guo)時,上遊(you)熱電阻(zu)R.R,的溫度(du)下降比(bi)下遊熱(re)電阻R、R,明(ming)顯,氣體(ti)将上遊(you)的熱量(liang)帶到下(xia)遊,引起(qi)3管道内(nei)部溫度(du)場變化(hua)61,則氣體(ti)的質量(liang)流量

　　式(shi)中E爲單(dan)位時間(jian)内輸出(chu)流量計(ji)的電功(gong)率,c,爲被(bei)測氣❗體(ti)的比定(ding)壓熱容(rong),ΔT爲上下(xia)遊溫差(cha)
　　随着氣(qi)體流速(su)的增加(jia),氣體的(de)流動引(yin)起熱電(dian)阻Rs1、Rs2. s3、Rs4、溫度(du)的變🥵化(hua),電路提(ti)供給四(si)個電阻(zu)的3電功(gong)率等于(yu)氣☁️體流(liu)動對熱(re)換流帶(dai)走的⭕熱(re)量,即

2熱(re)式氣體(ti)傳感器(qi)系統結(jie)構的設(she)計
　　由于(yu)傳感元(yuan)件通過(guo)圓柱形(xing)支架固(gu)定在管(guan)道内部(bu),圓🌍柱體(ti)💃開一矩(ju)形孔用(yong)于傳感(gan)元件測(ce)量氣體(ti)流量👉,見(jian)圖2所示(shi)📧。傳感元(yuan)件周圍(wei)的流場(chang)對傳感(gan)器的靈(ling)敏度和(he)重複性(xing)影響較(jiao)大。同時(shi),傳感器(qi)的壓損(sun)也是一(yi)♍個重要(yao)的評價(jia)指标。因(yin)此,需要(yao)對傳感(gan)器開孔(kong)尺寸👉進(jin)行仿真(zhen)研究,以(yi)獲得理(li)想的結(jie)構.

　　首先(xian)采用Solidworks軟(ruan)件對氣(qi)體傳感(gan)器模型(xing)進行建(jian)立,管道(dao)口徑爲(wei)50 mm,管道長(zhang)度爲130 Imm,管(guan)道中支(zhi)架爲小(xiao)圓柱體(ti),直徑爲(wei)12mm[7].
　　将網格(ge)文件導(dao)入FLUENT軟件(jian)進行仿(pang)真并保(bao)證各模(mo)型有相(xiang)♍同的邊(bian)界條件(jian),設定管(guan)道内流(liu)體介質(zhi)爲空氣(qi),人口速(su)度取10 m/s,根(gen)據式(3)求(qiu)出管道(dao)雷諾數(shu)Re=337 84, 因此粘(zhan)性模型(xing)爲k-epsilon。 爲了(le)防止壁(bi)面有邊(bian)界層使(shi)得流體(ti)粘附管(guan)道,壁面(mian)選擇Moving wall。

　　式(shi)中V爲入(ru)口速度(du),D爲管道(dao)直徑,η, 爲(wei)壓強爲(wei)101.325 kPa、 溫度爲(wei)20 C的條🍓件(jian)下☔空✂️氣(qi)的運動(dong)黏度根(gen)據式(4)計(ji)算出湍(tuan)流強度(du)1=4.345%[8]。

　　氣體傳(chuan)感器插(cha)入管道(dao)中測量(liang)氣體的(de)流速,會(hui)對氣體(ti)🔅的流場(chang)有👄一定(ding)的擾動(dong),不同的(de)傳感器(qi)模型對(dui)流場的(de)擾動也(ye)不💯同[9]。因(yin)此需對(dui)傳感器(qi)模型的(de)尺寸進(jin)💘行設計(ji)仿真,選(xuan)🔞擇最佳(jia)模型。如(ru)圖2所示(shi),傳感元(yuan)件置于(yu)管道中(zhong)，傳感元(yuan)件🌈長7 mm,寬(kuan)2.4 mm,厚0.15 mm。設計(ji)矩形孔(kong)的尺寸(cun),1分别取(qu)3 mm、4 mm、5 mm,h分别取(qu)9 mm、10 mm、11 mm,共9種模(mo)型,研究(jiu)不同模(mo)型對流(liu)場産生(sheng)🆚的影響(xiang)。
　　采用FLUENT軟(ruan)件10-1]1分别(bie)對這9種(zhong)模型設(she)置相同(tong)的邊界(jie)條件🧑🏽‍🤝‍🧑🏻,進(jin)✂️行數值(zhi)模拟計(ji)算。分别(bie)計算傳(chuan)感元件(jian)不同位(wei)置的平(ping)🌈均速🏒度(du)。選取傳(chuan)💜感元件(jian)中心截(jie)面的編(bian)号爲plane-5。按(an)軸向方(fang)向在plane-5前(qian)後分别(bie)依次取(qu)⭕5個截面(mian),前面兩(liang)截面平(ping)行距離(li)爲0.24 mm,分别(bie)編👣号爲(wei)plane-0, plane- 1, plane-2...共11個截(jie)面,如圖(tu)3所示,這(zhe)些截面(mian)上的面(mian)平均速(su)度可❄️通(tong)過數值(zhi)計算獲(huo)得。

圖4所(suo)示爲幾(ji)種矩形(xing)孔的管(guan)内流場(chang)等速線(xian)水平剖(pou)面圖
　　從(cong)圖4可以(yi)看出,矩(ju)形孔的(de)面積越(yue)大,傳感(gan)器前後(hou)的🈲漩渦(wo)區越小(xiao)，流場分(fen)布均勻(yun),這是因(yin)爲矩形(xing)孔的面(mian)積越👉大(da),對流體(ti)的阻礙(ai)作用越(yue)小,對管(guan)道内的(de)流場影(ying)響越小(xiao)[12]圖5表示(shi)9種不同(tong)傳感器(qi)模型11 個(ge)截面的(de)面平均(jun)速度分(fen)布圖。


　　從(cong)圖5可以(yi)看出，矩(ju)形孔的(de)面積越(yue)小，其面(mian)平均速(su)度越大(da)♉,但對流(liu)體的阻(zu)礙作用(yong)變大,使(shi)得流體(ti)的能量(liang)損失㊙️多(duo)。對于管(guan)内的🏃傳(chuan)感🌂元件(jian),11個截面(mian)的面平(ping)均速度(du)分布越(yue)穩定，管(guan)内速度(du)分布的(de)變化越(yue)小,對流(liu)場的擾(rao)動越❗小(xiao)。由式(5)貝(bei)塞爾公(gong)式求出(chu)标準偏(pian)差,度量(liang)數據分(fen)布的分(fen)散程度(du)

　　式中v;分(fen)别爲第(di)i截面的(de)面平均(jun)速度,0爲(wei)11 個截面(mian)平均🔞速(su)🛀🏻度✌️的平(ping)均值,n爲(wei)11。
　　表1爲9種(zhong)不同傳(chuan)感器模(mo)型的0值(zhi)、S值和壓(ya)損，這三(san)個因🐅素(su)決定了(le)傳感器(qi)模型的(de)尺寸選(xuan)擇,0值越(yue)大則量(liang)程比越(yue)大,S值和(he)壓損越(yue)♍小則流(liu)體通過(guo)傳感器(qi)時損失(shi)的能量(liang)越小，流(liu)體分布(bu)也越穩(wen)定。從表(biao)1可以看(kan)出,矩💔形(xing)孔的面(mian)💋積越大(da),值越小(xiao),而s值和(he)壓損越(yue)小。可以(yi)看出壓(ya)損最大(da)值與最(zui)小值相(xiang)差約0.84 p,且(qie)對傳感(gan)器評定(ding)影響不(bu)大，在評(ping)定時可(ke)以忽略(lue)壓損這(zhe)個因素(su)，因此可(ke)通過權(quan)重[1”]來評(ping)定0值和(he)♉S值在整(zheng)體評價(jia)中的相(xiang)對重要(yao)程度,并(bing)根據式(shi)❄️(6)計.算出(chu)綜合評(ping)價值♈,從(cong)而确定(ding)💰傳感器(qi)的♋模型(xing)

　　式中Vk爲(wei)綜合評(ping)價值,wk爲(wei)權重,xk爲(wei)各因素(su)的數值(zhi),k=1,2,3,4,5,6,7,8,9。
　　用算術(shu)平均法(fa)計算各(ge)因素的(de)平均數(shu)x。和标準(zhun)差sk,根據(ju)式(7)計算(suan)出各因(yin)素的标(biao)準差系(xi)數,它反(fan)映各因(yin)素的相(xiang)對變異(yi)程度

　　根(gen)據式(7)、(8)計(ji)算出二(er)個因素(su)的?k值和(he)wk值,并根(gen)據式(6)計(ji)算出9種(zhong)模📧型🌍對(dui)應的Vk 值(zhi),如表1所(suo)示口

根(gen)據表1的(de)V,值,可以(yi)确定寬(kuan)3高9的模(mo)型爲最(zui)佳模型(xing)。
3傳感元(yuan)件溫度(du)特性的(de)研究
　　氣(qi)體經過(guo)傳感元(yuan)件表面(mian)時會帶(dai)走熱量(liang)從而引(yin)起測量(liang)💃🏻電路電(dian)🧑🏾‍🤝‍🧑🏼壓信号(hao)的變化(hua),當傳感(gan)元件上(shang)的熱電(dian)阻Rs1、Rs2、Rs3和🧑🏾‍🤝‍🧑🏼Rs4與(yu)氣🐅體溫(wen)差較小(xiao)時,傳感(gan)元件靈(ling)敏度會(hui)降低🏃🏻,但(dan)電流🌈過(guo)大時會(hui)損壞傳(chuan)感元件(jian)并增加(jia)電路的(de)功☂️耗,因(yin)此需對(dui)傳感元(yuan)件的溫(wen)度特性(xing)進行研(yan)究4],圖6爲(wei)傳感元(yuan)件溫度(du)特性研(yan)究實驗(yan)圖。
　　傳感(gan)元件放(fang)置在溫(wen)度可調(diao)的恒溫(wen)箱中,電(dian)路加恒(heng)㊙️定的❄️電(dian)壓10 V ,在不(bu)同的工(gong)況條件(jian)下調節(jie)電位器(qi)的大小(xiao)使電流(liu)⭐保持恒(heng)定,并測(ce)量傳感(gan)元件的(de)電壓V,然(ran)後計算(suan)傳感元(yuan)件相應(ying)電路的(de)阻值和(he)工☁️作溫(wen)度。實驗(yan)中恒溫(wen)箱💁型号(hao)爲GHX高溫(wen)恒溫試(shi)⭕驗箱，電(dian)壓🥰由可(ke)調直流(liu)穩壓電(dian)源提供(gong),型号爲(wei)🧡MPS- 3003L-3,電壓表(biao)型号爲(wei)VC9807A。首先從(cong)低到高(gao)調節恒(heng)溫箱溫(wen)度并調(diao)節電位(wei)器大小(xiao)使電流(liu)接近于(yu)6.2 mA,同時測(ce)量對應(ying)溫度下(xia)熱電阻(zu)兩端的(de)電壓。在(zai)同一溫(wen)度記錄(lu)3個數據(ju),将這三(san)個數據(ju)平均後(hou)計❌算出(chu)該溫❗度(du)下熱電(dian)阻的阻(zu)值,同時(shi)計算出(chu)傳感元(yuan)件的工(gong)作溫度(du)和環境(jing)溫差。實(shi)驗數據(ju)見表2所(suo)示。


　　從表(biao)2可以看(kan)出,在電(dian)流恒定(ding)時,環境(jing)溫度越(yue)高,傳感(gan)元件溫(wen)💋度也越(yue)高,但是(shi)與環境(jing)溫度之(zhi)間的差(cha)值基本(ben)恒定在(zai)100 C,此時傳(chuan)感元件(jian)⛹🏻‍♀️靈敏度(du)高且電(dian)流小而(er)不☔會對(dui)傳感元(yuan)件造成(cheng)損🐅壞,以(yi)此作爲(wei)設計測(ce)量電路(lu)的依據(ju)。
4傳感電(dian) 路設計(ji)
　　一種新(xin)型的流(liu)量傳感(gan)電路,如(ru)圖7所示(shi)。傳感元(yuan)件由熱(re)電阻R, R,R、R,、R.,構(gou)成，與精(jing)密電阻(zu)R2、R3、R.、Rs、R。構成惠(hui)斯通電(dian)橋,該電(dian)路能實(shi)現溫☂️度(du)補償,并(bing)🧡能檢測(ce)管道中(zhong)氣體的(de)方向。電(dian)路中精(jing)密電阻(zu)R2與熱電(dian)阻R并聯(lian)不僅防(fang)止通過(guo)R..的電流(liu)過大,而(er)且可提(ti)高溫度(du)補償的(de)準确度(du)🔴。爲了使(shi)傳⚽感元(yuan)件輸出(chu)與氣體(ti)溫度無(wu)關的穩(wen)定📱電壓(ya),理想情(qing)況下在(zai)任何環(huan)境溫度(du)下應滿(man)足式(9)。

　　工(gong)作時将(jiang)氣體傳(chuan)感器放(fang)入測量(liang)管道中(zhong)心,當有(you)微小氣(qi)體🧑🏽‍🤝‍🧑🏻流過(guo)☎️時，上遊(you)熱電阻(zu)R,,、R..的溫度(du)下降比(bi)下遊熱(re)電阻R，、R明(ming)顯,氣體(ti)将上遊(you)的⛷️熱量(liang)帶到下(xia)遊,熱電(dian)阻溫🚩度(du)場變化(hua)引起電(dian)壓信♈号(hao)V2變化,V2反(fan)應了微(wei)小流速(su)氣體的(de)流量。當(dang)管道中(zhong)有中高(gao)流速氣(qi)體通過(guo)時,熱電(dian)阻R,、R,、R，、R.構成(cheng)的熱電(dian)阻R。的熱(re)量被氣(qi)體帶走(zou)而引起(qi)阻值變(bian)化,從而(er)導緻傳(chuan)感電路(lu)的電流(liu)發生變(bian)化,熱電(dian)阻R。用于(yu)溫度補(bu)償。通過(guo)測量💘熱(re)電阻R。R,.和(he)精密電(dian)阻構成(cheng)的惠斯(si)通電橋(qiao)的輸👣出(chu)電壓V,即(ji)可反應(ying)此時管(guan)道中氣(qi)體的流(liu)👉量。

5氣體(ti)流量實(shi)驗研究(jiu)
　　運用鍾(zhong)罩式氣(qi)體流量(liang)标準裝(zhuang)置進行(hang)氣體流(liu)量測試(shi)。裝置運(yun)用⭐鼓風(feng)機進行(hang)鍾罩的(de)充氣,三(san)個閥門(men)用💋于控(kong)制氣體(ti)流動。該(gai)設備的(de)測量不(bu)确定度(du)爲0.5%，其能(neng)夠供給(gei)的流量(liang)範圍爲(wei)0~220 m'/h。設備原(yuan)理圖如(ru)圖8所示(shi)，實物圖(tu)如圖9所(suo)示


　　按照(zhao)表1的仿(pang)真結果(guo),本實驗(yan)選用評(ping)價值相(xiang)差較大(da)😍的兩個(ge)傳感器(qi)進行實(shi)驗,即傳(chuan)感器1和(he)傳感器(qi)9,其對應(ying)的開孔(kong)尺寸分(fen)别爲寬(kuan)3高9和寬(kuan)5高11。
　　由于(yu)不同的(de)流量範(fan)圍測量(liang)原理不(bu)同,流量(liang)測量實(shi)驗分爲(wei)2部分✊，其(qi)中小流(liu)量的測(ce)量範圍(wei)爲0.405m'/h~2.841 m'/h。在不(bu)同的♊流(liu)量點對(dui)輸出電(dian)壓V2進行(hang)三次測(ce)量，獲得(de)流量與(yu)平均輸(shu)出電壓(ya)的關系(xi)曲線如(ru)圖10所示(shi)。傳感器(qi)1在小流(liu)量測量(liang)中⛱️,不同(tong)流量🌐與(yu)輸出電(dian)壓關系(xi)爲星形(xing)點,測💔量(liang)重複性(xing)最大值(zhi)爲0.5%。傳感(gan)器9在小(xiao)流量測(ce)量中,不(bu)同🤩流量(liang)與輸出(chu)電壓關(guan)系爲圓(yuan)形♍點,測(ce)量重複(fu)性⛷️最大(da)值爲0.8%。比(bi)較傳感(gan)器1和傳(chuan)感器9的(de)輸出特(te)性,可知(zhi)傳感🚩器(qi)9由于開(kai)孔略大(da),輸出的(de)電壓值(zhi)略微偏(pian)小，而且(qie)重複性(xing)略大于(yu)傳感器(qi)1,與仿真(zhen)的結果(guo)相同。

　　随(sui)着流量(liang)增加,對(dui)傳感器(qi)在2.841 m'/h至130.3 m'/h範(fan)圍内進(jin)行流量(liang)實驗。在(zai)不同的(de)流量點(dian)對輸出(chu)電壓V進(jin)行三次(ci)測量,獲(huo)得流量(liang)與平均(jun)輸出電(dian)壓的關(guan)系曲線(xian)如圖11所(suo)示。傳感(gan)器1的🌍不(bu)同流💃量(liang)與輸出(chu)電壓關(guan)系爲🏃‍♂️星(xing)形點,測(ce)量重複(fu)性最💋大(da)值爲0.5%。傳(chuan)㊙️感器2的(de)不同流(liu)量與輸(shu)出電壓(ya)🐇關系爲(wei)圓形點(dian),測量重(zhong)複性最(zui)大值爲(wei)1%。如圖11可(ke)知傳感(gan).器9的輸(shu)出🌈電壓(ya)值略微(wei)偏小,與(yu)表1的與(yu)仿真的(de)仿真數(shu)據相吻(wen)合。
　　傳感(gan)器1具有(you)較好的(de)輸出特(te)性和測(ce)量重複(fu)性,與仿(pang)真結果(guo)--緻。因此(ci),以下對(dui)傳感器(qi)1進行具(ju)體分析(xi)。

運用MATLAB拟(ni)合電壓(ya)與流量(liang)之間的(de)關系公(gong)式[ 16],得到(dao)傳感器(qi)1的數據(ju)模型:

　　式(shi)(10)和式(11)所(suo)示的數(shu)學模型(xing)分别用(yong)于測量(liang)小流量(liang)和大🈲流(liu)量🌈。通過(guo)拟合數(shu)值和輸(shu)出電壓(ya)可計算(suan)得到最(zui)大偏差(cha)Amre由式(12)可(ke)計算得(de)到拟合(he)Lmax誤差γYL°

　　其(qi)中ym爲最(zui)大流量(liang)點的電(dian)壓。在小(xiao)流量時(shi)拟合誤(wu)差🔞爲1.42%,而(er)在大流(liu)量時爲(wei)1.40%。由于傳(chuan)感器1的(de)重複性(xing)最大值(zhi)YR均爲0.5%,由(you)式(13)可以(yi)計算得(de)到測量(liang)誤差.

　　由(you)式(13)可得(de)在小流(liu)量範圍(wei)内最大(da)測量誤(wu)差.爲1.50% ,在(zai)大🌈流量(liang)範⛷️圍内(nei)爲1.49%,由此(ci)可認爲(wei)測量誤(wu)差爲1.50%。對(dui)造成誤(wu)差的主(zhu)要🏃🏻原因(yin)有氣體(ti)擾流,流(liu)場分布(bu)和氣體(ti)濕度等(deng)。另外,傳(chuan)感器的(de)熱輻射(she)和熱傳(chuan)導同樣(yang)會造成(cheng)測量誤(wu)差。
　　由實(shi)驗可得(de),傳感器(qi)能夠在(zai)0.4 m'/h至130m'/h的範(fan)圍内測(ce)量氣體(ti)✂️流量,其(qi)重複🧡性(xing)優于0.5% ,測(ce)量誤差(cha)爲1.5%。
6結論(lun)
　　熱分布(bu)型和浸(jin)入型相(xiang)結合的(de)熱式流(liu)量測量(liang)方法,設(she)計了一(yi)種🏃‍♀️大量(liang)程氣體(ti)流量傳(chuan)感器。通(tong)過FLUENT仿真(zhen)技術和(he)權重法(fa)确定最(zui)✉️佳傳感(gan)器的結(jie)構模型(xing)，研究傳(chuan)感元件(jian)📞的溫度(du)特性,提(ti)出了氣(qi)體介質(zhi)溫度的(de)自動補(bu)償方法(fa)并設計(ji)流量傳(chuan)感電🈲路(lu)。實驗結(jie)果表明(ming),該㊙️傳感(gan)器測量(liang)量程爲(wei)0.4 m'/h~130n2/h,測量誤(wu)差優于(yu)1.5%,擴大了(le)熱式流(liu)量傳感(gan)器的流(liu)量測量(liang)範圍。

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